質(zhì)量流量控制器是用于精確控制氣體體積流量的儀表，由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動(dòng)的流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，它相較于質(zhì)量流量計(jì)多了一個(gè)精密的電磁比例調(diào)節(jié)閥。因此，一般情況下控制器會(huì)有一個(gè)閥門全開模式，可以作為質(zhì)量流量計(jì)來(lái)使用。
工作原理：
質(zhì)量流量控制器內(nèi)置壓力和溫度傳感器，能充分補(bǔ)償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異，并根據(jù)作為電信號(hào)發(fā)送的設(shè)定流量通過(guò)精密電磁比例調(diào)節(jié)閥自動(dòng)控制氣體流量，從而提供更加準(zhǔn)確和穩(wěn)定的流量測(cè)量和控制。
其原理是采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器相較于傳統(tǒng)流量計(jì)不管是在使用的便捷性，還是長(zhǎng)期穩(wěn)定性、可靠性上都有著極大的優(yōu)勢(shì)：
(1)傳統(tǒng)流量計(jì)包括浮子流量計(jì)、渦輪流量計(jì)、容積流量計(jì)等，這類傳統(tǒng)流量計(jì)內(nèi)部有運(yùn)動(dòng)部件，適用范圍相對(duì)比較狹小，在微流量測(cè)量領(lǐng)域精度較差。而新型質(zhì)量流量計(jì)和控制器量程比可達(dá)100:1，精度可做到0.5%~1.0%RD(流量讀數(shù)*0.5%~1.0%)或者0.5%~1.0%SP(流量設(shè)定值*0.5%~1.0%)。
(2)新型的質(zhì)量流量計(jì)和控制器在設(shè)計(jì)之初就貼合了制造業(yè)的在線監(jiān)測(cè)和反饋控制的需求，可遠(yuǎn)程通過(guò)模擬信號(hào)量(4-20mA)/0-5V或者數(shù)字信號(hào)量RS485、profibus等進(jìn)行數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)以及流量的精確控制。
