德國進口Bronkhorst備件L13V12-AGD-33-K

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金屬密封氣體質量流量計
Bronkhorst®F-111CM型質量流量計（MFM）專為滿足半導體市場以及其他高純度氣體應用的要求而設計。該儀器具有較高的表面質量，并且采用金屬對金屬密封的模塊化結構，可確保長期的密封性。 F-111CM適用于在真空至1500 psig（100 bar）之間的工作壓力下精確測量0.12…6 sccm至1…50 slm（基于N2）的流量范圍。

EL-FLOW®金屬密封系列配備了數(shù)字印刷電路板，可提供高精度，出色的溫度穩(wěn)定性和快速響應。主數(shù)字電路板包含測量和控制所需的所有常規(guī)功能。除了標準的RS232輸出外，儀器還提供模擬I / O。作為一個選項，可以安裝一個板上接口來提供CANopen®，DeviceNet™，EtherCAT®，PROFIBUS DP，PROFINET，Modbus RTU，ASCII或TCP / IP，EtherNet / IP或FLOW-BUS協(xié)議。 EL-FLOW®金屬密封設計具有可選的多種氣體/多種量程功能，可為（OEM-）客戶提供的靈活性和工藝效率。